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石墨材料在現(xiàn)代科技工業(yè)中扮演著非常重要的角色,在半導(dǎo)體行業(yè)的Cz法直拉硅單晶工藝中更是不可缺少的材料。由于石墨具有耐高溫、導(dǎo)電性好、輻射率高等特性, 加工成坩堝、加熱器、保溫筒等部件用于Cz爐內(nèi)熱場(chǎng), 起加熱、隔熱、支撐、保護(hù)等作用。
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